Origins of light scattering from thin film coatings

خصوصیات نور پراکندگی پوشش های چند لایه به طور قابل توجهی پیچیده تر از سطوح تک است. با این حال، روش های تجربی جدید و تکنیک های مدل سازی پراکندگی چند لایه را می توان مورد بررسی و تحلیل قرار داد. در این مقاله عوامل مؤثر بر پراکندگی فیلترهای تداخل سرکوب کننده مادون قرمز مورد بحث قرار گرفته است. این کار با ترکیب زاویه های اندازه گیری پراکندگی نور حل شده در طول موج های مختلف با مترولوژی زبری و مدل های نظری ساده انجام شده است. تأثیر منابع مختلف پراکندگی، به ویژه سوبسترا و زبری پوشش، اثرات تداخل و نقصهای محلی، به صورت کمی مورد بحث قرار گرفته است. اثبات می شود که اثر نقایص گره گشایی ناچیز است در حالی که اثر اثرات تداخل ندارد.