کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1665375 1518041 2014 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Postoxidation thermal annealing effects of liquid phase deposited TiO2 on (NH4)2Sx-treated AlGaAs
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Postoxidation thermal annealing effects of liquid phase deposited TiO2 on (NH4)2Sx-treated AlGaAs
چکیده انگلیسی
Liquid phase deposition (LPD) was performed to fabricate titanium dioxide (TiO2) on AlGaAs by using ammonium sulfide pretreatment. In addition, the study investigated how postoxidation rapid thermal annealing (RTA) affected the LPD-TiO2 on (NH4)2Sx-treated AlGaAs. The deposition rate of the as-deposited LPD-TiO2 for the 10 min 5% (NH4)2Sx-treated AlGaAs was approximately 126 nm/h. Following the 10 min 5% (NH4)2Sx pretreatment and a postoxidation RTA at 350 °C for 1 min, the root mean square value, leakage current density at 0 MV/cm, interface trap density, and flat-band voltage shift were improved to 6.20, 5.64 × 10− 8 A/cm2, 6.48 × 1011 cm− 2 eV− 1, and 1.5 V, respectively.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 563, 31 July 2014, Pages 40-43
نویسندگان
, , , , ,