کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1665461 | 1518046 | 2014 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Elastic properties of ultrathin diamond/AlN membranes
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Nanocrystalline diamond- (NCD) and AlN-based ultrathin single layer and bilayer membranes are investigated towards their mechanical properties. It is shown that chemo-mechanical polishing and heavy boron doping of NCD thin films do not impact the elastic properties of NCD layers as revealed by negligible variations of the NCD Young's modulus (E). In addition, it is demonstrated that the combination of NCD elastic layer and AlN piezo-actuator is highly suitable for the fabrication of mechanically stable ultrathin membranes in comparison to AlN single layer membranes. The elastic parameters of NCD/AlN heterostructures are mainly determined by the outstanding high Young's modulus of NCD (E = 1019 ± 19 GPa). Such ultrathin unimorph membranes allow for fabrication of piezo-actuated AlN/NCD microlenses with tunable focus length.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 558, 2 May 2014, Pages 267-271
Journal: Thin Solid Films - Volume 558, 2 May 2014, Pages 267-271
نویسندگان
V. Zuerbig, J. Hees, W. Pletschen, R.E. Sah, M. Wolfer, L. Kirste, N. Heidrich, C.E. Nebel, O. Ambacher, V. Lebedev,