کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1667106 | 1008841 | 2012 | 9 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrical properties of AlNxOy thin films prepared by reactive magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
⺠AlNxOy thin films were produced using magnetron sputtering. ⺠AlNxOy film morphology, composition and structure depend on reactive gas pressure. ⺠Electrical properties can be tuned controlling the non metallic/metallic ratio.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 21, 31 August 2012, Pages 6709-6717
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 21, 31 August 2012, Pages 6709-6717
نویسندگان
J. Borges, N. Martin, N.P. Barradas, E. Alves, D. Eyidi, M.F. Beaufort, J.P. Riviere, F. Vaz, L. Marques,