کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
1667106 1008841 2012 9 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrical properties of AlNxOy thin films prepared by reactive magnetron sputtering
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Electrical properties of AlNxOy thin films prepared by reactive magnetron sputtering
چکیده انگلیسی
► AlNxOy thin films were produced using magnetron sputtering. ► AlNxOy film morphology, composition and structure depend on reactive gas pressure. ► Electrical properties can be tuned controlling the non metallic/metallic ratio.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 21, 31 August 2012, Pages 6709-6717
نویسندگان
, , , , , , , , ,