کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1667271 | 1008848 | 2012 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Development of Ga-doped ZnO transparent electrodes for liquid crystal display panels
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Liquid crystal displays (LCDs) with Ga-doped ZnO (GZO) transparent electrodes on RGB color filters were fabricated to demonstrate the feasibility of using this new material as an alternative to indium tin oxide (ITO) electrodes. The process flow for fabricating LCDs with GZO electrodes was entirely compatible with that for commercially available LCDs using ITO electrodes. Concurrently, photolithography processing and wet-chemical etching techniques for the formation of GZO transparent electrodes on thin film transistor (TFT) arrays in LCD panels was developed. Fine-patterns of GZO with 2-μm line widths were successfully formed using lithography and wet -etching technology with a weakly acidic etchant of pH 5.5–6.8.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 12, 2 April 2012, Pages 4131–4138
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 12, 2 April 2012, Pages 4131–4138
نویسندگان
N. Yamamoto, H. Makino, S. Osone, A. Ujihara, T. Ito, H. Hokari, T. Maruyama, T. Yamamoto,