کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1668593 | 1008871 | 2011 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
ZnO based film bulk acoustic resonator as infrared sensor
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper reported the investigation of an infrared (IR) sensitive, ZnO based Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR). The resonant frequency of the FBAR decreased under IR illumination, and results demonstrated a linear dependence on IR intensity. The sensing mechanism is attributed to the temperature-dependent Young's modulus of the resonator material (ZnO), which subsequently shifts the resonant frequency. Thickness Field Excitation FBAR and Lateral Field Excitation (LFE) FBAR were fabricated and characterized with detection limits of 0.7 μW/mm2 and 2 μW/mm2, respectively, but the LFE FBAR exhibited higher IR sensitivity.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 18, 1 July 2011, Pages 6144–6147
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 18, 1 July 2011, Pages 6144–6147
نویسندگان
Ziyu Wang, Xiaotun Qiu, Shih Jui Chen, Wei Pang, Hao Zhang, Jing Shi, Hongyu Yu,