کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1668698 | 1008874 | 2010 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Biaxially textured Ag films by grazing ion beam assisted deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The effect of grazing incidence 4 keV Ar+ ion irradiation on the early stage of Ag thin film growth on amorphous Si was investigated. The double effect of axial and surface channeling resulted in grains oriented along the 〈110〉 axis in-plane, while the (111) out-of-plane texture was maintained. A slight average tilt of the (111) out-of-plane texture axis towards the ion beam direction is proposed to result from the difference between terrace and step edge sputtering yield. The observed tilt is consistent with a minimum erosion orientation of the surface profile.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 2, 1 November 2010, Pages 598–604
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 2, 1 November 2010, Pages 598–604
نویسندگان
Daniel F. Förster, Sebastian Bleikamp, Thomas Michely,