کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1669562 | 1008885 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Optical characterization of BaSm2Ti4O12 thin films by spectroscopic ellipsometry
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We performed spectroscopic ellipsometric measurement to characterize BaSm2Ti4O12 (BST) thin films grown on Pt/Ti/SiO2/c-Si substrate by rf magnetron sputtering. The six BST films were prepared at various deposition temperatures and thermal annealing times. The resulting refractive indices and extinction coefficients of the BST films show only slight change by the deposition temperature but a significant change after thermal annealing, implying the importance of the post annealing process. The increase of the refractive index can be understood by the higher density of the BST films caused by the crystallization after annealing process.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 14, 29 May 2009, Pages 3923–3926
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 14, 29 May 2009, Pages 3923–3926
نویسندگان
J.J. Yoon, S.Y. Hwang, Y.J. Kang, Y.D. Kim, Y.H. Jeong, S. Nahm,