کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1671051 | 1008910 | 2010 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Effect of sublayer surface treatments on ZnO transparent conductive oxides using dc magnetron sputtering
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Effect of sublayer surface treatments on ZnO transparent conductive oxides using dc magnetron sputtering Effect of sublayer surface treatments on ZnO transparent conductive oxides using dc magnetron sputtering](/preview/png/1671051.png)
چکیده انگلیسی
Novel sublayer surface treatments were investigated to improve the conductivity of aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al) fabricated by using dc magnetron sputtering on a glass substrate. Introducing artificial minute flaws on the surface of glass substrates enhanced the crystallinity of ZnO:Al films and decreased the resistivity accompanying the increase of electron mobility. Combination of the surface treatment and sputter beam control, i.e., interruption of high-energy oxygen with shadow masks, further reduced the resistivity of the film to 3.7 × 10− 4 Ω cm (thickness 70 nm).
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 11, 31 March 2010, Pages 2945–2948
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 11, 31 March 2010, Pages 2945–2948
نویسندگان
Yasuo Imanishi, Mitsuo Taguchi, Ken-ichi Onisawa,