کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1671262 | 1008913 | 2010 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Local anodic oxidation by atomic force microscopy for nano-Raman strain measurements on silicon–germanium thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Nanolithography based on local anodic oxidation (LAO) by atomic force microscopy is a promising technique for patterning strained film nanostructures on the silicon substrates. Due to its versatility and precise control, LAO is suited for preparing well defined calibration structures for local strain measurements. We investigated silicon–germanium patterns prepared by LAO and subsequent selective anisotropic wet etching. By combining the nanolithography and etching, dedicated strain test structures with a line width of 65 nm were achieved and utilized for calibration of tip-enhanced Raman measurements.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 12, 2 April 2010, Pages 3267–3272
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 12, 2 April 2010, Pages 3267–3272
نویسندگان
Krzysztof Kolanek, Peter Hermann, Piotr T. Dudek, Teodor Gotszalk, Dmytro Chumakov, Martin Weisheit, Michael Hecker, Ehrenfried Zschech,