کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1672522 | 1008934 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fluorescent tags to visualize defects in Al2O3 thin films grown using atomic layer deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله

چکیده انگلیسی
Defects and cracks in thin film barriers that are coated on polymers allow the leakage of reactive species through the polymer substrate. Fluorescent tags have been developed to visualize defects and cracks in thin film barriers and to inspect rapidly the barrier quality with minimal sample preparation. For Al2O3 films with a thickness of 25 nm deposited on polyethylene naphthalate polymer substrates using atomic layer deposition techniques, the fluorescent tags have identified cracks ~ 20 nm in width after applied strain and have observed individual defects as small as ~ 200 nm in diameter.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 24, 30 October 2009, Pages 6794–6797
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 24, 30 October 2009, Pages 6794–6797
نویسندگان
Yadong Zhang, Yu-Zhong Zhang, David C. Miller, Jacob A. Bertrand, Shih-Hui Jen, Ronggui Yang, Martin L. Dunn, Steven M. George, Y.C. Lee,