کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1676674 | 1009005 | 2006 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Air gap type thin film bulk acoustic resonator fabrication using simplified process
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Air gap type thin film bulk acoustic resonator fabrication using simplified process Air gap type thin film bulk acoustic resonator fabrication using simplified process](/preview/png/1676674.png)
چکیده انگلیسی
In this study we propose a simplified process for making an air-gap-type film bulk acoustic resonator (FBAR) using the magnesium (Mg) sacrificial layer. The Mg sacrificial layer minimizes damage to other layers in the wet etching process because of its short etching time. Also the Mg sacrificial layer plays the role of etching aisle and air-gap simultaneous during the etching process. In addition, our proposed process can reduce the number of FBAR fabrication steps when compared with previous dry etching techniques. The FBAR's resonant frequency characteristics successfully show performance from 2.44 to 3.11 GHz.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 496, Issue 2, 21 February 2006, Pages 653–657
Journal: Thin Solid Films - Volume 496, Issue 2, 21 February 2006, Pages 653–657
نویسندگان
Eung Kwon Kim, Tae Yong Lee, Young Hak Jeong, Young Park, Joon Tae Song,