کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1677006 | 1518094 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Production of crystalline Si nano-clusters using pulsed H2 + SiH4 VHF discharges
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Crystalline Si nano-clusters are successfully produced using pulsed H2 + SiH4 VHF discharges. Their size can be controlled by changing the discharge duration. Si clusters of 1.6 nm in size and 100% crystallinity are produced. Collecting efficiency of them on the substrate decreases by one order of magnitude by heating it from room temperature to 200 °C, while their size is around 3 nm irrelevant to its temperature change.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volumes 506–507, 26 May 2006, Pages 288–291
Journal: Thin Solid Films - Volumes 506–507, 26 May 2006, Pages 288–291
نویسندگان
Tomohide Kakeya, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe, Michio Kondo,