کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1793907 | 1023685 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Growth conditions and surface morphology of AlN MOVPE
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Growth conditions and surface morphology of AlN MOVPE Growth conditions and surface morphology of AlN MOVPE](/preview/png/1793907.png)
چکیده انگلیسی
Experimental and modeling studies of AlN metal-organic vapor phase epitaxy (MOVPE) are aimed at the analysis of surface morphology variations with growth conditions. It was found that flattest surfaces can be obtained at high temperature, reduced growth rate, and optimal V/III ratio. Detailed simulation of AlN growth and comparison of the results with trends reported in the literature point out that the improvement of the surface morphology is due to the reduced parasitic gas-phase reactions and increased migration length of adsorbed species on the surface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 310, Issue 23, 15 November 2008, Pages 4935–4938
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 310, Issue 23, 15 November 2008, Pages 4935–4938
نویسندگان
A.V. Lobanova, E.V. Yakovlev, R.A Talalaev, S.B. Thapa, F. Scholz,