کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
6944594 1450383 2012 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Focused ion beam milling of exfoliated graphene for prototyping of electronic devices
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی کامپیوتر سخت افزارها و معماری
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Focused ion beam milling of exfoliated graphene for prototyping of electronic devices
چکیده انگلیسی
► FIB prototyping of graphene electronic devices without FIB imaging. ► FIB milled trenches isolate current to channel region. ► Better than 250 nm alignment accuracy. ► Ohmic contact between graphene and FIB deposited electrodes.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Microelectronic Engineering - Volume 98, October 2012, Pages 313-316
نویسندگان
, , , , ,