کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
7134573 | 1461854 | 2016 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Cost effective MEMS fabrication of a nanowire characterization platform with solder coated electrodes
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
HClLPCVDFIBICPTMAHIBERIEKOHPVDIon beam etching - اکتیو پرتو یونیreactive ion etching - اکتیو یونی واکنشیTem - این استIndium - ایندیومFocused ion beam - باریکه یونی متمرکز یا بیمtin - باور کنBismuth - بیسموتTitanium - تیتانیومLow-pressure chemical vapor deposition - رسوب بخار شیمیایی کم فشارPhysical Vapor Deposition - رسوب فیزیکی بخارFinite element method - روش اجزاء محدودLaser micromachining - لیزر micromachiningSEM - مدل معادلات ساختاری / میکروسکوپ الکترونی روبشیscanning electron microscope - میکروسکوپ الکترونی اسکنTransmission electron microscopy - میکروسکوپ الکترونی عبوریTetramethylammonium hydroxide - هیدروکسید تتراماتیل آمونیومPotassium Hydroxide - پتاسیم هیدروکسیدPlatinum - پلاتینinductively coupled plasma - پلاسما جفتشده القاییFEM - پنجHydrogen chloride - کلرید هیدروژن
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
شیمی
الکتروشیمی
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
These challenges have given rise to the study presented in this paper. A new method for silicon microstructuring, based on direct silicon laser ablation is proposed. To improve surface quality of the laser-ablated areas, chemical post-processing is implemented in addition to the laser ablation. Additionally the development of low temperature indium based solders is reported in detail, with the aim to employ automatic formation of individual solder contacts on a micron spacing. For this purpose, the measurement electrodes are covered with our proposed low temperature solder through an adapted physical vapor deposition (PVD) and lift off process.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 246, 1 August 2016, Pages 140-147
Journal: Sensors and Actuators A: Physical - Volume 246, 1 August 2016, Pages 140-147
نویسندگان
S.Hoda Moosavi, Michael Kroener, Peter Woias,