کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8032717 1517959 2018 24 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Raman scattering of nitrogen incorporated diamond thin films grown by hot filament chemical vapor deposition
ترجمه فارسی عنوان
پراکندگی رامان از نانومگانی که از الماس نازک تشکیل شده است، رشد کرده توسط رسوب بخار شیمیایی رشته ای داغ
کلمات کلیدی
نازک الماس نازک فیلم، طیف سنجی رامان، رسوبات بخار شیمیایی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
A detailed Raman scattering analysis of nitrogen incorporated polycrystalline diamond thin films grown using NH3/CH4/H2 gas mixture in hot filament chemical vapor deposition system is presented. To understand the nitrogen bonding configuration in these films, diamond films are grown by replacing H2 with D2 in the gas mixture. The Raman peak observed at ~1190 cm−1 showed an isotopic shift to ~830 cm−1 upon replacing H2 with D2 in the gas mixture. With the present Raman analysis, the peak at ~1190 cm−1 is assigned to CNH. Secondary ion mass spectroscopy revealed the abundance of nitrogen in the sub-surface region of the annealed diamond thin films.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 653, 1 May 2018, Pages 284-292
نویسندگان
, , , ,