کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8033428 | 1517994 | 2016 | 26 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural and morphological characterization of Al2O3 coated macro-porous silicon by atomic layer deposition
ترجمه فارسی عنوان
خصوصیات ساختاری و مورفولوژیکی سیلیکون باکتری آلومینیوم پوشش داده شده با آلومینیوم با اتلاف لایه اتمی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
آنودایزر الکتروشیمیایی، رسوب لایه اتمی، سیلیکون متخلخل، پوشش مناسب انرژی خورشیدی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
In the present study, Al2O3 coated on macro-porous silicon (m-PS) is prepared by atomic layer deposition (ALD) whereas m-PS is prepared by electrochemical anodization of P type silicon (100) with current density of 15Â mA/cm2. Field emission scanning electron microscopy analysis shows Al2O3 nanoparticles with size of ~Â 100Â nm are conformally coated on m-PS. The surface chemistry and formation mechanism of ALD of Al2O3 (ALD-Al2O3) on m-PS are demonstrated in detail. Optical profilometer results of Al2O3/m-PS confirm conformality of Al2O3 coating on m-PS because the surface amplitude parameter values of m-PS are decreased after ALD-Al2O3. Fourier Transform Infrared analysis confirms that unstable Si-H species of m-PS are replaced with stable Si-Al species. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis of Al2O3/m-PS is carried out for chemical analysis and band gap energy measurement of Al2O3. The XPS survey spectrum shows that fluorine peak is also evolved along with Al, O and C elements which confirm that m-PS surface consists of fluorine. The band gap energy of Al2O3 coating is calculated as 6.91Â eV from analysis of high resolution O 1s spectrum.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 628-634
Journal: Thin Solid Films - Volume 616, 1 October 2016, Pages 628-634
نویسندگان
Sridhar Sampath, Philipp Maydannik, Tatiana Ivanova, TomáÅ¡ Homola, Mika Sillanpää, Rameshbabu Nagumothu, Viswanathan Alagan,