The use of hollow cathodes in deposition processes: A critical review

در بخش آخر این بازبینی، ما توصیف می کنیم که چگونه کاتد های توخالی برای پوشش دادن فیلم های نازک و پوشش های نانوساختار استفاده می شود. ما لیستی گسترده و تقریبی زمانی ارائه می دهیم که چگونه کاتد های توخالی به طور موفقیت آمیز برای رسوب مواد استفاده می شود، عمدتا به وسیله اسپری کردن و افزایش پلاسمای تکنیک های پایدار شیمیایی بخار شیمیایی.