کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8034752 | 1518031 | 2015 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of the Electrical Asymmetry Effect by spectroscopic measurements of capacitively coupled discharges and silicon thin film depositions
ترجمه فارسی عنوان
ارزیابی اثر نامتقارن الکتریکی توسط اندازه گیری های طیف سنجی از تخلیه های خازنی همراه و رسوبات سیلیکون نازک
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
پوسیدگی بخار شیمیایی، سیلیکون میکرو کریستالی، فیلم های نازک تخلیه با فرکانس رادیویی بطور مجزا، پلاسمای دو طرفه با ظرفیت پذیری طیف سنجی جذب لیزر مادون قرمز، اثر نامتقارن برق، دی هیدروژن
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
A capacitively coupled hydrogen diluted silane discharge operated at pressures above 500Â Pa and driven by a combination of 13.56Â MHz and 27.12Â MHz is investigated by infrared laser absorption spectroscopy. Adjusting the phase angle between the two applied frequencies enables the control of the discharge symmetry via the Electrical Asymmetry Effect (EAE). The absorption measurements prove that the degree of dissociation of SiH4 and, thus, the radical flux remains approximately constant, independently of the phase angle. Furthermore, the results show that the DC self-bias can be adjusted by tuning the phase, so that the sheath voltages change. Thus, the ion properties at the electrodes can be controlled via the EAE. This has an effect on the deposition of thin films, which are grown on glass substrates at various phase angles and analyzed using Raman spectrometry: Reducing the ion energy at the substrate leads to a decrease of the amorphous fraction in the predominantly microcrystalline film.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 574, 1 January 2015, Pages 60-65
Journal: Thin Solid Films - Volume 574, 1 January 2015, Pages 60-65
نویسندگان
Edmund Schüngel, Robert Hofmann, Sebastian Mohr, Julian Schulze, Jürgen Röpcke, Uwe Czarnetzki,