کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8035525 1518054 2014 7 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Structural properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: Effect of microcrystalline silicon seed layer and methane flow rate
ترجمه فارسی عنوان
خواص ساختاری آلیاژهای سیلیکون کربن هیدروژنه کریستالیزاسیون که توسط رادیو فرکانس رادیویی پلاسما تهیه شده است. تأثیر لایه های بذر سیلیکون میکرو کریستالی و جریان متنا
کلمات کلیدی
کربن سیلیکن هیدروژنه، کربن سیلیکون میکرو کریستالی، پراکندگی فرکانس رادیویی پلاسمای شیمیایی پودر شیمیایی، لایه دانه، طیف سنجی انتشار نوری پرتو فرابنفش رادیویی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Hydrogenated silicon-carbon thin films were deposited by Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using silane-methane gas mixtures highly diluted in hydrogen. The effects of the presence of a microcrystalline silicon seed layer and of the methane flow rate during deposition were investigated in order to find the optimal conditions for microcrystalline growth. The presence of a seed layer promotes the amorphous to microcrystalline transition at the interface with the substrate, reducing the incubation layer to a 5-10 nm thickness. At the same time, an excessive increase in the CH4 flow rate suppresses crystalline growth, leading to extremely flat amorphous samples (root-mean-square surface roughness ρRMS ~ 0.5 nm), even with a seed layer. The total carbon content was measured by Radio Frequency Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy. It was found that carbon is only incorporated in the amorphous tissue, and not in the crystalline phase. Thus, the increase of the crystalline fraction, directly linked to the increase of the seed layer deposition time, leads to a decrease of the carbon incorporation in the subsequent layer.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 550, 1 January 2014, Pages 312-318
نویسندگان
, , , , , , , , ,