کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8035724 | 1518054 | 2014 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Influence of annealing temperature on properties of room-temperature rf-sputtered CuAlOx:Ca thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The influence of annealing temperature on the characteristics of rf-sputtered CuAlOx:Ca thin films is studied. Room-temperature sputter-deposited CuAlOx:Ca thin films show an amorphous/nanocrystalline phase with p-type conductivity, as evidenced by Hall measurements and Seebeck coefficient measurements. This film becomes slightly crystalline after annealing at 600 °C for 5 h in N2 atmosphere. As the annealing temperature is increased to 900 °C, crystalline CuAlO2 mixed with CuO and CaAl4O7 are formed in the film; these precipitates extrude and roughen the surface. ZnO:Al/CuAlOx:Ca diodes fabricated using CuAlOx:Ca films that are as-deposited or annealed at 600 °C show good rectification characteristics, whereas those fabricated using CuAlOx:Ca films annealed at 900 °C show poor diode performance owing to the rugged surface that leads to the poor interface and current leakage paths.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 550, 1 January 2014, Pages 591-594
Journal: Thin Solid Films - Volume 550, 1 January 2014, Pages 591-594
نویسندگان
Bo-Wei Huang, Jian-Zhang Chen, I-Chun Cheng,