Aluminum-doped zinc oxide film with gradient property deposited at oblique angle

فیلم های اکسید روی آلومینیوم با استفاده از روش تبخیر الکترون پرتو در یک سری از زاویه های شیب دار تهیه شد. مشخص شده است که ساختار ستون در فیلم های دارای زاویه ی مایل به چپ است. علاوه بر این، زاویه بین جهت رشد ساختار ستون و زیر بنا عادی، اساسا با زاویه مکعبی مشابه است. ضخامت فیلم، متوسط ​​انتقال، جذب نرمال شده و مقاومت ورق نیز به عنوان تابع زاویه متفاوت است. این خواص نیز به تدریج در طول فیلم تغییر یافت. سپس، اثرات جاذب زاویه کجی بر خواص فیلم بر اساس سرعت رسوب و اثر سایه مورد بحث قرار گرفت.