کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8036688 | 1518068 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Evaluation of thin metal film thickness from light attenuation and multi-reflection effects on micro-Raman response
ترجمه فارسی عنوان
بررسی ضخامت فیلم نازک فلزی از ضخامت نور و اثرات چندگانه بر روی پاسخ میکرو رامان
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
طیف سنجی میکرو رامان، فیلم های نازک، مشخصات نانو متر، زاویه سنجی طیف سنجی زاویه متغیر،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
An optical model for Raman response of thin metal films has been developed, taking into account attenuation effects and multi-reflections occurring at film edges. Film thickness and surface morphology of nanometer thin NbN films have been inferred in the framework of this model using micro-Raman measurements. Results have been compared with those obtained by means of spectroscopic ellipsometry. The absolute value of the thickness is determined with a precision better than 20% on nanometric scale allowing us to control surface morphology with high accuracy also on large areas.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 536, 1 June 2013, Pages 142-146
Journal: Thin Solid Films - Volume 536, 1 June 2013, Pages 142-146
نویسندگان
C. Camerlingo, M.P. Lisitskiy, L. De Stefano, I. Rea, I. Delfino, M. Lepore,