کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8036986 | 1518072 | 2013 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Undercoat process for fluorine-doped tin oxide type transparent conductive oxide coating
ترجمه فارسی عنوان
فرایند پوشش زیرزمینی برای پوشش اکسید سربی شفاف نوعی قلع اکسید فلوراید
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
زیرزمین سیلیکون اکسینیتوریدها، سیلیکون اکسی کرباید، رسوبات بخار شیمیایی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
⺠Silicon oxynitride and silicon oxycarbide processes were compared. ⺠Coatings were grown by atmospheric pressure chemical vapor deposition. ⺠Growth rate can be controlled with deposition temperature and silane concentration. ⺠Film composition and its optical properties depend on the amount of precursors used.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 532, 1 April 2013, Pages 31-35
Journal: Thin Solid Films - Volume 532, 1 April 2013, Pages 31-35
نویسندگان
M.N. Saarniheimo, E.T. Seppäläinen,