کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9812744 | 1518119 | 2005 | 6 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrical properties of CrSix, Cr/CrSix/Cr/CrSix, and CrSix/Si/CrSix/Si sputtered on alumina plates
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
CrSix, Cr/CrSix/Cr/CrSix, and CrSix/Si/CrSix/Si formed on alumina have been analyzed for electrical properties. An as-deposited CrSix shows metallic nature, but the annealed sample shows semiconducting behavior. An annealed Cr/CrSix/Cr/CrSix shows an upward curvature of resistance curve. An annealed CrSix/Si/CrSix/Si shows metallic nature. The heating and cooling time of the last sample are the shortest. Auger analysis shows that the structure is a layer of a mixture of Si and CrSi2. The Si-rich CrSi2 layer is desirable as the heating material of thin film heater.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 479, Issues 1â2, 23 May 2005, Pages 182-187
Journal: Thin Solid Films - Volume 479, Issues 1â2, 23 May 2005, Pages 182-187
نویسندگان
Chong-Geol Kim,