![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Macroporous silicon: A versatile material for 3D structure fabrication
Keywords: اچینگ الکتروشیمیایی; Macroporous silicon; Electrochemical etching; Three-dimensional structures; Photonic crystals; Silicon micromachining