![این مقاله در پایگاه ساینس دایرکت منتشر شده است Elsevier - ScienceDirect - الزویر - ساینس دایرکت](/assets/img/Elsevier-Logo.png)
Nanoscale investigations: Surface potential of rare-earth oxide (Re2O3) thin films by kelvin probe force microscopy for next generation CMOS technology
Keywords: بالا آقای; High-κ; Thin films; Er2O3; CPD; KPFM; Rapid thermal annealing; Furnace annealing;