دانلود مقالات ISI درباره Pecvd + ترجمه فارسی

Photoluminescence properties of SiNx/Si amorphous multilayer structures grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: 73.61.Tm; 78.40.Fy; 78.55.−m; Silicon nanoclusters; PECVD; Silicon nitride; Multilayer; Photoluminescence;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Stress and stress relief in dielectric thin films - the role of hydrogen

Keywords: 62.20.Mk; 81.40.Np; 68.35.Gy; 68.60.−p; 68.55.Ln; Thin film; Stress; Crack; ERD; Hydrogen; PECVD;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

World's largest amorphous silicon photovoltaic module

Keywords: PECVD; VHF plasma; a-Si; Solar cell; Ladder-shaped electrode

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Syntheses and mechanical properties of Ti–B–C–N coatings by a plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: Ti–B–C–N; PECVD; Boron content; Microhardness; Friction coefficient

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

High frequency characterization and continuum modeling of ultrathin high-k (ZrO2) gate dielectrics on strained-Si

Keywords: High-k gate dielectric; Strained-Si; Continuum model; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Influence of the deposition parameters on the texture of boron nitride thin films synthesized in a microwave plasma-enhanced reactor

Keywords: Boron nitride; Texturation; Anisotropy; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Characteristics of SiOxNy films deposited by inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition using HMDS/NH3/O2/Ar for water vapor diffusion barrier

Keywords: HMDS; Diffusion barrier; PECVD; Siliconoxynitride; Passivation; WVTR

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Adhesion studies of diamond-like carbon films deposited on Ti6Al4V substrate with a silicon interlayer

Keywords: Diamond-like carbon (DLC); PECVD; Silicon interlayer; Adhesion

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Mesostructured thin films deposited by PECVD from TMGe

Keywords: Nanostructured; Mesostructure; PECVD; Impedance spectroscopy; Raman spectroscopy

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Effects of annealing on low dielectric constant carbon doped silicon oxide films

Keywords: Carbon doped silicon oxide dielectric film; PECVD; 3MS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Plasma enhanced chemical vapor deposition of nitrogen-incorporated silicon oxide films using TMOS/N2O gas

Keywords: Nitrogen-incorporated silicon oxide film; PECVD; Organosilicon source

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Dielectric substrate self-bias and plasma confinement in two-dimensional scanning radio frequency plasma-enhanced chemical vapour deposition

Keywords: PECVD; Scanning plasma; Plasma confinement

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of μc-Si grown by SiH4-H2 PECVD

Keywords: μc-Si; PECVD; Ellipsometry; Raman spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Synthesis and application perspective of advanced plasma polymerized organic thin films

Keywords: Plasma polymerization; Ethylcyclohexane and cyclohexane organic thin films; PECVD; Corrosion protection efficiency

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Low-temperature fabrication of silicon films by large-area microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

Keywords: Large-area microwave plasma; Low-temperature fabrication silicon films; PECVD; RF bias;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Saddle field fast atom beam source: A new low pressure plasma nitriding method for a alloy Ti–6Al–4V

Keywords: Low pressure; Plasma nitriding; Saddle field fast atom beam; Ti–6Al–4V alloy; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Synthesis of functional nanoassemblies in reactive plasmas

Keywords: Nanoassembly; Deterministic nanofabrication; PECVD; Reactive plasma; Nano- and biomaterials

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

A novel method for thickness profile control in RF PECVD deposition on large area substrates

Keywords: PECVD; Thin films; Deposition; Uniformity control;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Preparation of plasma-polymerized SiOx-like thin films from a mixture of hexamethyldisiloxane and oxygen to improve the corrosion behaviour

Keywords: Corrosion; PECVD; Plasma polymerization

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

High-rate microcrystalline silicon deposition for p–i–n junction solar cells

Keywords: Hydrogenated microcrystalline silicon; PECVD; High-rate deposition; Solar cell

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

N and p-type doping of PECVD a-SiC:H obtained under “silane starving plasma” condition with and without hydrogen dilution

Keywords: Silicon carbide; Doping; Ion implantation; Electrical measurements; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Electrochemical characteristics of copper silicide-coated graphite as an anode material of lithium secondary batteries

Keywords: Copper silicide; Anode active material; Lithium secondary batteries; PECVD; rf-Magnetron sputtering

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

SAW-based gas sensors with rf sputtered InOx and PECVD SiNx films: Response to H2 and O3 gases

Keywords: SAW gas sensor; PECVD; SiNx; Ozone; Hydrogen

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Microcrystalline silicon thin film solar modules on glass

Keywords: Thin-film silicon; Solar cell; Solar module; Microcrystalline silicon; PECVD; Up-scaling; Light trapping

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Effect of deposition conditions on mechanical properties of low-temperature PECVD silicon nitride films

Keywords: Elastic modulus; Hardness; PECVD; Silicon nitride; Thin film; Nanoindentation

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Influence of plasma pulsing on the deposition kinetics and film structure in low pressure oxygen/hexamethyldisiloxane radiofrequency plasmas

Keywords: PECVD; Pulsed plasma; Hexamethyldisiloxane; Silicon oxide; Optical properties

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Growth dynamics of hydrogenated silicon nanoparticles under realistic conditions of a plasma reactor

Keywords: 81.10.Bk; 61.46+w; 81.05.Zx; 81.07.Bc; 52.27.LwSilicon; Hydrogen; Plasma; PECVD; Fluid dynamics model; Time-dependent DFT; Semiempirical molecular dynamics simulations; Cluster growth dynamics; Crystallization; Absorption spectrum; Nanostructures; Polymor

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Surface organic modification of inorganic substrates by plasma deposition of tin oxide organic-like thin films and grafting polymerization

Keywords: PECVD; TMT and O2 mixtures; SnOx organic-like films; UV-induced grafting polymerization

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Dual frequency PECVD silicon nitride for fabrication of CMUTs' membranes

Keywords: PECVD; Silicon nitride; Intrinsic stress; CMUT;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Structural and optical properties of amorphous hydrogenated silicon carbonitride films produced by PECVD

Keywords: a-Si:C:N:H films; PECVD; HMDSN; Chemical composition; Optical properties; Morphology;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Characterization and strain gradient optimization of PECVD poly-SiGe layers for MEMS applications

Keywords: Microcrystalline; Poly-SiGe; Hydrogen dilution; Multi-layer; PECVD; Strain gradient

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Humidity dependence on the friction and wear behavior of diamond-like carbon film in air and nitrogen environments

Keywords: PECVD; DLC film; Friction and wear behavior; Relative humidity

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Studies on microstructure of silicon thin films and its effect on solar cells

Keywords: Microcrystalline silicon; PECVD; Microstructure; Solar cell

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Photovoltaic characteristics of phosphorus-doped amorphous carbon films grown by r.f. plasma-enhanced CVD

Keywords: Photovoltaic; Solar cell; Phosphorus doping; a-C:H; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Properties of an n-C:P/p-Si carbon-based photovoltaic cell grown by radio frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition at room temperature

Keywords: Photovoltaic; Solar cell; Phosphorus doping; n-C:P; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Global and local residual stress in silicon carbide films produced by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Keywords: Residual stress; SiC; PECVD; MEMS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

A study of the low temperature plasma polymerization on enhancing interface of painted cold rolled steel in salt bath

Keywords: Corrosion; Adhesion; PECVD; CRS; AFM; ESCA

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 11 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Hard silicon carbonitride films obtained by RF-plasma-enhanced chemical vapour deposition using the single-source precursor bis(trimethylsilyl)carbodiimide

Keywords: Si/C/N; Films; Hardness; Wear resistance; PECVD

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 11 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Investigation of simultaneous fluorine and carbon incorporation in a silicon oxide dielectric layer grown by PECVD

Keywords: low k dielectric; SiOFC; PECVD; FTIR;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Dual FCVA-PECVD deposition for DLC films

Keywords: FCVA; PECVD; Carbon DLC; Hydrogen;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Very high frequency plasma CVD of silicon oxide

Keywords: Silicon dioxide; PECVD; Equipment; VHF excitation;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

RF power effect on TEOS/O2 PECVD of silicon oxide thin films

Keywords: PECVD; Silicon oxide; TEOS; Radio frequency; Infrared spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Characterization of PECVD boron carbonitride layers

Keywords: 81.15.−z; 52.75.Rx; 82.80.Ch; BCN; PECVD; Hardness; Hydrogen content; ERDA; FTIR spectroscopy;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Study of well adherent DLC film deposited on piezoelectric LiTaO3 substrate

Keywords: 81.05.Uw; 81.70.Bt; 81.15.Gh; 78.20.Ci; DLC; Scratch test; Nano-indentation; PECVD;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Fabrication and characterization of a PbTe quantum dots multilayer structure

Keywords: 81.15Fg; 81.15.Gh; 81.05.Hd; Pulsed laser deposition; Pecvd; Semiconductor quantum dots;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Fabrication of 100 nm gate length MOSFET's using a novel carbon nanotube-based nano-lithography

Keywords: Carbon nanotube; PECVD; Vertical growth; Electron emission; Lithography; MOSFET;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Single source precursors for plasma-enhanced CVD of SiCN films, investigated by mass spectrometry

Keywords: 35.20.Wg; 81.15.Gh; 82.30.Lp; PECVD; SiCN; Mass spectrometry; Chemical composition;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Growth structure of SiOx films deposited on various substrate particles by PECVD in a circulating fluidized bed reactor

Keywords: PECVD; Circulating fluidized bed; Substrate particle; Coating; Structure zone model; Nodular defect;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Superhard nanocomposite Ti-Si-C-N coatings prepared by pulsed-d.c plasma enhanced CVD

Keywords: Ti-Si-C-N coatings; Nanocomposite; PECVD; Hardness;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

PECVD of h-BN and c-BN films from boranedimethylamine as a single source precursor

Keywords: PECVD; h-BN; c-BN; Boranedimethylamine; Single source

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه