کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
10669828 1008842 2012 13 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Transient stages during the chemical vapour deposition of silicon carbide from CH3SiCl3/H2: impact on the physicochemical and interfacial properties of the coatings
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Transient stages during the chemical vapour deposition of silicon carbide from CH3SiCl3/H2: impact on the physicochemical and interfacial properties of the coatings
چکیده انگلیسی
►Investigation of transient stages during chemical vapour deposition of SiC. ►Correlation with gas phase composition and deposition rate. ►Correlation with nature of gradient Si-C coatings (φTr). ►Synthesis of SiC/φTr/SiC bilayers. ►Adhesion assessment of SiC/φTr/SiC bilayers.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 19, 31 July 2012, Pages 6075-6087
نویسندگان
, , , ,