کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10670661 | 1008976 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Infrared spectroscopic ellipsometry and atomic force microscopy study of plasma polymerized hexamethyldisiloxane layers post-treated by NH3 plasma
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
The surface morphology was imaged by atomic force microscopy. The data revealed that the NH3 treatment had caused distinct micro-structural modification on the top layer surface. The size of the nodule aggregates was largely reduced and this contributed to a much better developed top surface.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 476, Issue 1, 1 April 2005, Pages 174-180
Journal: Thin Solid Films - Volume 476, Issue 1, 1 April 2005, Pages 174-180
نویسندگان
D. Tsankov, E. Radeva, K. Hinrichs, A. Röseler, E.-H. Korte,