کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1667798 | 1008857 | 2011 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Thermal conductivity and sound velocity measurements of plasma enhanced chemical vapor deposited a-SiC:H thin films
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We report ultrafast optical measurements of the thermal conductivity and longitudinal sound velocity for a-SiC:H thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Porous and non-porous films with mass densities ranging from 1.0–2.5 g/cm3 were obtained by intentionally varying the PECVD process conditions. The longitudinal sound velocities for these materials as determined by picosecond ultrasonics ranged from 2370 m/s to 10460 m/s, and the Young's modulus determined from the sound velocity measurements ranged from 5–200 GPa. Time domain thermoreflectance measurements determined the thermal conductivity to range from 0.0009 W/cmK to 0.042 W/cmK.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 22, 1 September 2011, Pages 7895–7898
Journal: Thin Solid Films - Volume 519, Issue 22, 1 September 2011, Pages 7895–7898
نویسندگان
D.B. Hondongwa, L.R. Olasov, B.C. Daly, S.W. King, J. Bielefeld,