کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1673439 | 1008948 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preparation of α-alumina-g-polyacrylamide composite abrasive and chemical mechanical polishing behavior
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
α-Alumina-g-polyacrylamide (α-Al2O3-g-PAM) composite abrasive was prepared by surface graft polymerization. The composition, structure and morphology of the product were characterized by Fourier transform infrared spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, time-of-flight secondary ion mass spectroscopy, and scanning electron microscopy, respectively. Then, the chemical mechanical polishing performances of the composite abrasive on glass substrates were investigated. Atomic force microscopy images show that the average roughness of the polished glass substrate surface can be decreased from 0.74 nm for pure α-Al2O3 abrasive to 0.45 nm for α-Al2O3-g-PAM abrasive.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 10, 31 March 2008, Pages 3005–3008
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 10, 31 March 2008, Pages 3005–3008
نویسندگان
Hong Lei, Haishen Lu, Jianbin Luo, Xinchun Lu,