کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1673783 | 1008953 | 2008 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
ULVAC research and development of Cat-CVD applications
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
This paper reports the feasibility for industrial implementation of Cat-CVD (Hot-Wire CVD) technology. Some application examples are shown, and their features and problems are described. Cat-CVD is a unique technology which has a lot of possibilities. Some of them will be commercialized in the near future, but the others need a breakthrough for mass production.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 5, 15 January 2008, Pages 541-544
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 5, 15 January 2008, Pages 541-544
نویسندگان
Shin Asari, Tetsushi Fujinaga, Makiko Takagi, Masanori Hashimoto, Kazuya Saito, Masamichi Harada, Michio Ishikawa,