کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1674387 | 1008962 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
AlGaN/GaN high electron mobility transistors with implanted ohmic contacts
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Selective area silicon implantation for source/drain regions was integrated into the fabrication of molecular beam epitaxy-grown AlGaN/GaN HEMTs. Dopant activation was achieved by rapid thermal annealing at 1100 °C in flowing N2 ambient for 120 s with an AlN encapsulation. Linear transmission line measurements showed that the resistance of the overlay Ti/Al/Ni/Au ohmic contacts was reduced by 61% compared to the control sample. After the Schottky Ni/Au gate formation, the typical DC characteristics displayed a higher current drive, smaller knee voltage and better gate control properties for HEMTs with implanted source and drain regions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 10, 26 March 2007, Pages 4476–4479
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 10, 26 March 2007, Pages 4476–4479
نویسندگان
H.T. Wang, L.S. Tan, E.F. Chor,