کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1675530 | 1008980 | 2007 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Chemical stability of CaCu3Ti4O12 thin films grown by MOCVD on different substrates
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Calcium copper titanate, CaCu3Ti4O12 (CCTO), thin films have been fabricated by Metal Organic Chemical Vapor Deposition on silicon substrates buffered with two different low-k interlayers, namely SiO2 and Si3N4. Depositions have been carried out from a molten mixture consisting of the Ca(hfa)2
• tetraglyme, Ti(tmhd)2(O-iPr)2, and Cu(tmhd)2 [Hhfa = 1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedione; tetraglyme = 2,5,8,11,14-pentaoxapentadecane; Htmhd = 2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptandione; O-iPr = iso-propoxide] precursors. The chemical stability of CCTO films on both the SiO2 and Si3N4 low-k layers has been investigated by transmission electron microscopy in the perspective of their implementation in capacitor devices.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 16, 4 June 2007, Pages 6470–6473
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 16, 4 June 2007, Pages 6470–6473
نویسندگان
Raffaella Lo Nigro, Roberta G. Toro, Graziella Malandrino, Ignazio L. Fragalà, Patrick Fiorenza, Vito Raineri,