کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1676317 | 1008995 | 2007 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Epitaxial growth of lithium niobate film using metalorganic chemical vapor deposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Epitaxial growth of lithium niobate film using metalorganic chemical vapor deposition Epitaxial growth of lithium niobate film using metalorganic chemical vapor deposition](/preview/png/1676317.png)
چکیده انگلیسی
Lithium niobate films grown epitaxially on sapphire substrate were prepared using a thermal chemical vapor deposition method from the metalorganic compounds Li(C11H19O2) and Nb(OC2H5)5. The range of operating conditions for obtaining pure epitaxially grown LiNbO3 without other oxides is within that for obtaining pure polycrystalline LiNbO3 grown on silicon substrate. On analyzing the composition of the epitaxially grown LiNbO3 film, the composition of the film was similar to that of the LiNbO3 solid solution in the phase diagram of the Li–Nb composite oxide obtained for crystal growth from a molten solution.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 12, 23 April 2007, Pages 4975–4979
Journal: Thin Solid Films - Volume 515, Issue 12, 23 April 2007, Pages 4975–4979
نویسندگان
Yasunobu Akiyama, Katsuya Shitanaka, Hiroshi Murakami, Young-Sik Shin, Michihide Yoshida, Nobuyuki Imaishi,