کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1677032 | 1518094 | 2006 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Scale-up of ferro-electric packed bed reactor for C2F6 decomposition
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Performance of ac driven ferro-electric packed bed reactor for perfluoroethane (C2F6) gas removal from simulated semiconductor process gas is described in this paper. Hollow cylinder shape (3.2 mm o.d. 1.4 mm i.d. 4 mm length) is employed as BaTiO3 ferro-electric pellet to improve the removal efficiency. The pellets are packed in the rectangular parallelepiped reactor with dimension 12 cm × 10 cm × 30 cm. The 3000 ppm C2F6 gas diluted with nitrogen is used with gas flow rate of 1 L/min. The reactor shows the 20% C2F6 is removed with energy efficiency of 2.2 g/kW h.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volumes 506–507, 26 May 2006, Pages 414–417
Journal: Thin Solid Films - Volumes 506–507, 26 May 2006, Pages 414–417
نویسندگان
K. Takaki, K. Urashima, J.S. Chang,