The study of creation of polymerizable species in radio frequency hydrocarbon plasma polymerization in a closed reactor system

مطالعه فرکانس تابش تشدید رادیویی مونومر هیدروکربن اشباع نشان داد که تابش تابش متداول در سیستم های پلیمریزاسیون پلاسما است. پلیمریزاسیون پلاسمای اتان پلاسما رادیویی در یک سیستم راکتی بسته ای مورد مطالعه قرار گرفت. ترکیب گونه های واکنش پذیر در فاز گازهای درخشان در طی فرایند رسوب توسط طیف سنجی نوری بررسی شد. تجزیه و تحلیل انتشار نوری نشان می دهد که گونه های پلیمریزاسیون عمدتا در منطقه تابش شکل می گیرند. مشخص شد که در چنین سیستم پلاسمای بسته، رسوب پلیمرهای پلاسمای اتان می تواند به عنوان فرآیندهای دسته ای تجسم شود. در اوایل مرحله شروع پلاسمای رادیویی، رسوب پلیمرهای پلاسما به وسیله گونه های مبتنی بر هیدروکربن تحت سلطه قرار گرفت، زیرا گونه های مبتنی بر هیدروکربن پلیمریزاسیون بسیار سریع تر از گونه های مبتنی بر هیدروژن بود. در مرحله نهایی، به علت خستگی از تمام گونه های پلیمریزاسیون در سیستم، رسوب پایان می یابد و سطح پلیمر پلاسما رسوب شده به طور بی نهایت با پلاسما گاز غیر پالمر تشکیل می شود. رشد فیلتر هیدروکربن پلیمر شده پلاسمای فرکانس رادیویی به وضوح اثرات غالب فازهای گازی نوری را بر تمایل تمایل به پلیمریزاسیون در سیستم پلاسمایی پلاسما نشان داد.