Influence of indenter tip diameter and film thickness on flat indentations into elastic-plastic films by means of the finite element method

عمق ضایعات بزرگ در انتهای خط باند پد پشته در طول آزمایش ویفر و اتصال سیم می تواند منجر به شکست مکانیکی شود. برای کاهش یا اجتناب از این شکست ضروری است بدانید که پارامترهای هندسی ورودی، یعنی شعاع نوک تاندون و ضخامت فیلم، تاثیر عمق اثر را دارند. رفتار پلاستیک-پلاستیک لایه پد منجر به تنشهای غیر قابل پیش بینی شده پیش از انتگرال می شود که مانع از امکان رویکرد تحلیلی می شود. در این کار، ما مدل های عنصر محدودی از یک سناریوی چاپی یک تینر سیلندر مسطح را در یک فیلم پلاستیک الاستیسیته ورق نازک بر روی یک بستر سفت و سخت بررسی می کنیم. نسبت بین قطر نوک بینی و ضخامت فیلم به نظر می رسد که تاثیر زیادی بر منحنی های بار جابجایی دارد که هنوز مشخص نشده است. رویکردهای تحلیلی قبلی مورد انتقاد قرار گرفته است. نتایج مدل با معادلات تحلیلی موجود و با آزمایشات مقایسه می شود.