کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8034100 1518020 2015 5 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Electrical analysis of niobium oxide thin films
ترجمه فارسی عنوان
تجزیه و تحلیل الکتریکی از فیلم های نازک اکسید نایوبیوم
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
The dielectric constant for the film samples with thickness (d) lower than 650 nm decreases with the decrease of d. The same behaviour was observed for the conductivity. These results show a dependence of the dielectric permittivity with the thin film thickness. The electrical behaviour was also related with the oxygen partial pressure, whose increment promotes an increase of the Nb2O5 stoichiometry units.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 585, 30 June 2015, Pages 95-99
نویسندگان
, , , , ,