کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8034702 | 1518029 | 2015 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Chemical mechanical polishing of transparent conductive layers using spherical cationic polymer microbeads
ترجمه فارسی عنوان
مکانیکی از لایه های رسانای شفاف با استفاده از میکروب های پلیمر کاتیونیک کروی
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
ماشینکاری مکانیکی شیمیایی، اکسید رسانای شفاف، پلیمری کاتیونی میکروباغهای کروی، مورفولوژی سطح، دیودهای نور آلی،
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
Spherical cationic polymer microbeads were used to chemically mechanically polish transparent conductive oxide (TCO) layers without the need for inorganic abrasives. Poly(methyl acrylate) (PMA) was used as the polymer matrix. Surface cationization of the spherical PMA microbeads was achieved by aminolysis using 1,2-diaminoethane. The amino group content of the microbeads was controlled using the aminolysis reaction time. The surface roughness of the TCO polished using the cationic polymer microbeads was similar to that of TCO polished with an inorganic abrasive. The microbead-polished TCO layer was slightly thinner than the unpolished TCO layer. The sheet resistance of the TCO layer polished using the microbeads was lower than that polished using the inorganic abrasive. The TCO polishing ability of the microbeads was dependent on their cationic properties and softness.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 576, 2 February 2015, Pages 31-37
Journal: Thin Solid Films - Volume 576, 2 February 2015, Pages 31-37
نویسندگان
Shoji Nagaoka, Naoya Ryu, Akio Yamanouchi, Tomohiro Shirosaki, Maki Horikawa, Hideo Sakurai, Makoto Takafuji, Hirotaka Ihara,