کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
8037578 | 1518077 | 2013 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol-gel method
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
⺠Sol-gel derived defect free thin films of Ta2O5 ⺠Amorphous ⺠Very low permeation for gases ⺠Only 30-40 nm ultrathin films ⺠Chemically, thermally and hydrothermally stable
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 527, 1 January 2013, Pages 354-357
Journal: Thin Solid Films - Volume 527, 1 January 2013, Pages 354-357
نویسندگان
M.J. Wolf, S. Roitsch, J. Mayer, A. Nijmeijer, H.J.M. Bouwmeester,