کد مقاله کد نشریه سال انتشار مقاله انگلیسی نسخه تمام متن
8037578 1518077 2013 4 صفحه PDF دانلود رایگان
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol-gel method
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه مهندسی مواد فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
Fabrication of ultrathin films of Ta2O5 by a sol-gel method
چکیده انگلیسی
► Sol-gel derived defect free thin films of Ta2O5 ► Amorphous ► Very low permeation for gases ► Only 30-40 nm ultrathin films ► Chemically, thermally and hydrothermally stable
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 527, 1 January 2013, Pages 354-357
نویسندگان
, , , , ,