دانلود مقالات ISI درباره اچینگ خشک + ترجمه فارسی

Dry etching fin process for SOI finFET manufacturing: Transition from 32 to 22 nm node on a 6T-SRAM cell

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; Fins on SOI; Softlanding; 6T-SRAM cell; 22 nm Node

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 8 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Surface modification of highly oriented pyrolytic graphite by reaction with atomic nitrogen at high temperatures

Keywords: اچینگ خشک; HOPG; Graphene; Dry etching; Anisotropic etching; Hexagonal pits; Nitridation; N atoms;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2011 سفارش ترجمه

Comparison of dry etching of PMMA and polycarbonate in diffusion pump-based O2 capacitively coupled plasma and inductively coupled plasma

Keywords: اچینگ خشک; PMMA; Polycarbonate; Dry etching; ICP; CCP; O2 plasma; Diffusion pump;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Elucidating surface properties of dry-etched ZnO using H2/CH4 and H2/CH4/Ar plasma

Keywords: اچینگ خشک; Zinc oxide; Surface roughness; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Maskless texturization of phosphorus-diffused layers for crystalline Si solar cells by plasmaless dry etching with chlorine trifluoride gas

Keywords: اچینگ خشک; Texturing; Dry etching; Reflectance; Sheet resistance; Diffused layer

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Enhancement in emission angle of the blue LED chip fabricated on lens patterned sapphire (0 0 0 1)

Keywords: اچینگ خشک; MOCVD; Light-emitting diode; Lens patterned sapphire substrate; Dry etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Fabrication technology for single-material MEMS using polycrystalline diamond

Keywords: اچینگ خشک; Electrical conductivity; Dry etching; Single-material MEMS; Polycrystalline diamond

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 10 صفحه سال انتشار : 2010 سفارش ترجمه

Dry etching characteristics of GaN for blue/green light-emitting diode fabrication

Keywords: اچینگ خشک; GaN; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Study on sapphire removal for thin-film LEDs fabrication using CMP and dry etching

Keywords: اچینگ خشک; Sapphire substrate; Mechanical grinding; CMP; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Etch characteristics of indium zinc oxide thin films in a C2F6/Ar plasma

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; Indium zinc oxide; C2F6/Ar; Transparent conducting oxide; Solar cell; Thin film transistor

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2009 سفارش ترجمه

Effect of the surface texturing shapes fabricated using dry etching on the extraction efficiency of vertical light-emitting diodes

Keywords: اچینگ خشک; GaN; Dry etching; Light-emitting diode

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Dry etching of AlN films using the plasma generated by fluoride

Keywords: اچینگ خشک; AlN; Dry etching; F-based plasma; MEMS

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Very high resolution etching of magnetic nanostructures in organic gases

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; NiFe; Fe; CH4/H2/O2; CO/NH3

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Further investigation on the formation mechanisms of (NH4)2SiF6 synthesized by dry etching technique

Keywords: اچینگ خشک; 61.43.Gt; 68.47.Fg; 78.55.Mb; Dry etching; Porous silicon; Ammonium silicofluoride; Oxygen; Hydrofluosilicic acid; FTIR;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Inductively coupled plasma reactive ion etching of sapphire using C2F6- and NF3-based gas mixtures

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; ICP-RIE; Sapphire; Al2O3; C2F6; NF3

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Integrated microfluidic–microoptical systems fabricated by dry etching of soda-lime glass

Keywords: اچینگ خشک; Optical integration; Dry etching; Lab-on-a-chip; Microfluidic

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Single cell analysis in full body quartz glass chips with native UV laser-induced fluorescence detection

Keywords: اچینگ خشک; Label-free UV-LIF detection; Protein; Single cell analysis; Quartz microfluidic chip; Dry etching

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Study and formation of 2D microstructures of sapphire by focused ion beam milling

Keywords: اچینگ خشک; Focused ion beam milling; Dry etching; Sapphire; Microstructures

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO films in HBr/Ar plasma

Keywords: اچینگ خشک; Zinc oxide; High density plasma; Dry etching; HBr

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 9 صفحه سال انتشار : 2008 سفارش ترجمه

Influence on the laser induced backside dry etching of thickness and material of the absorber, laser spot size and multipulse irradiation

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; Excimer laser; Transparent material; Microprocessing; Thin film absorber; Fused silica;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Dry etching of zinc-oxide and indium-zinc-oxide in IBr and BI3 plasma chemistries

Keywords: اچینگ خشک; ZnO; Indium-zinc-oxide; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Control of reactive plasmas for low-k/Cu integration

Keywords: اچینگ خشک; Plasma; Dry etching; Low-k; SiOCH; Cu; Damage;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 22 صفحه سال انتشار : 2007 سفارش ترجمه

Dry etching of MgCaO gate dielectric and passivation layers on GaN

Keywords: اچینگ خشک; GaN; Dielectrics; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

High-density plasma etching of indium-zinc oxide films in Ar/Cl2 and Ar/CH4/H2 chemistries

Keywords: اچینگ خشک; Indium-zinc oxide; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

The effect of fluorine-based plasma treatment on morphology and chemical surface composition of biocompatible silicone elastomer

Keywords: اچینگ خشک; 52.77.Bn; 68.47.Mn; 79.60; Biocompatible polysiloxane; Silicone elastomer; Dry etching; Fluorine-based plasma; XPS;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Dry etching of bulk single-crystal ZnO in CH4/H2-based plasma chemistries

Keywords: اچینگ خشک; ZnO; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

The etchback approach: Enlarged process window for MuGFET gate etching

Keywords: اچینگ خشک; Dry etching; Gate etch; Multiple-gate FET; Topography; Anisotropic etchback;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2006 سفارش ترجمه

Study on ECR dry etching and selective MBE growth of AlGaN/GaN for fabrication of quantum nanostructures on GaN (0 0 0 1) substrates

Keywords: اچینگ خشک; 81.07.Vb; 81.16.Dn; 78.67.De; GaN; AlGaN; Quantum wire; Selective MBE growth; Dry etching;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 4 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Nanoscaled niobium trilayer technology, using temperature controlled pattern transfer

Keywords: اچینگ خشک; Niobium; Dry etching; Trilayer technology; Josephson junction; SIS THz mixer;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 5 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Surface mass spectrometric analysis of SiCl4/SiF4/O2 dry etch gate recessed 120 nm T-gate GaAs pHEMTs

Keywords: اچینگ خشک; SIMS; Dry etching; RIE; Surface contamination; Surface spectra; GaAs pHEMT;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Application of the Taguchi's design of experiments to optimize a bromine chemistry-based etching recipe for deep silicon trenches

Keywords: اچینگ خشک; Taguchi method; Silicon; Dry etching; Hydrogen bromine;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 6 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Roughness and damage of a GaAs surface after chemically assisted ion beam etching with Cl2/Ar+

Keywords: اچینگ خشک; CAIBE; GaAs; III-V; Dry etching; Photoluminescence; Damage; Roughness;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه

Fabrication and properties of PZT micro cantilevers using isotropic silicon dry etching process by XeF2 gas for release process

Keywords: اچینگ خشک; Isotropic; Dry etching; Silicon; XeF2 gas; PZT; Micro cantilever;

دانلود رایگان متن کامل مقاله ISI 7 صفحه سال انتشار : 2005 سفارش ترجمه