کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
10670103 | 1008846 | 2012 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Preparation of porous alumina abrasives and their chemical mechanical polishing behavior
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: Preparation of porous alumina abrasives and their chemical mechanical polishing behavior Preparation of porous alumina abrasives and their chemical mechanical polishing behavior](/preview/png/10670103.png)
چکیده انگلیسی
⺠We prepared porous alumina abrasives with different pore sizes. ⺠The polished surface roughness decreases when pore diameter of porous alumina increases. ⺠The porous alumina has lower polished surface roughness than solid alumina.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 7, 31 January 2012, Pages 2868-2872
Journal: Thin Solid Films - Volume 520, Issue 7, 31 January 2012, Pages 2868-2872
نویسندگان
Hong Lei, Xin Wu, Ruling Chen,