کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1670427 | 1008900 | 2010 | 8 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
High-resolution X-ray photoemission spectroscopy study of AlN nano-columns grown by nitridation of Al nano-squares on Si(111) substrates with ammonia
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
![عکس صفحه اول مقاله: High-resolution X-ray photoemission spectroscopy study of AlN nano-columns grown by nitridation of Al nano-squares on Si(111) substrates with ammonia High-resolution X-ray photoemission spectroscopy study of AlN nano-columns grown by nitridation of Al nano-squares on Si(111) substrates with ammonia](/preview/png/1670427.png)
چکیده انگلیسی
The growth of AlN nano-columns by ammonium nitridation of Al nano-squares embedded in SiO2 on Si(111) substrates was studied by high-resolution X-ray photoemission spectroscopy from a synchrotron radiation source and scanning electron microscopy (SEM). Selective nitridation of the Al nano-squares on the SiO2 mask was obtained in the temperature window of 600 °C–700 °C. The well-shaped AlN nano-column arrays with diameters confined by the lateral size of the Al nano-squares (~ 100 nm) were observed in SEM.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 14, 3 May 2010, Pages 3632–3639
Journal: Thin Solid Films - Volume 518, Issue 14, 3 May 2010, Pages 3632–3639
نویسندگان
B. Qi, B. Agnarsson, M. Göthelid, S. Ólafsson, H.P. Gíslason,