کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1673071 | 1008943 | 2008 | 5 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Etch characteristics of magnetic tunnel junction stack with nanometer-sized patterns for magnetic random access memory
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Etch characteristics of magnetic tunnel junction (MTJ) stack masked with TiN films were investigated using an inductively coupled plasma reactive ion etcher in Cl2/Ar and BCl3/Ar gases for magnetic random access memory. The effect of etch gas on the etch profile of MTJ stacks was examined. As Cl2 and BCl3 concentrations increased, the etch slope of etched MTJ stack became slanted and the dimensional shrinkage was observed. A high degree of anisotropic etching of MTJ stacks was achieved using Cl2/Ar gas at the optimized etch conditions.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 11, 1 April 2008, Pages 3507–3511
Journal: Thin Solid Films - Volume 516, Issue 11, 1 April 2008, Pages 3507–3511
نویسندگان
Su Ryun Min, Han Na Cho, Kee Won Kim, Young Jin Cho, Sung-Hoon Choa, Chee Won Chung,