کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
1673125 | 1008944 | 2009 | 4 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Characterization of 3C-SiC micro-pillars on Si(100) substrate grown by vapor-liquid–solid process
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
Cubic silicon carbide (3C-SiC) micro-pillars were fabricated on Si (100) substrate by vapor–liquid–solid (VLS) process. The microstructure and residual stress of the micro-pillars were investigated by electron microscopy and micro-Raman spectroscopy, respectively. The selected area diffraction pattern of the SiC micro-pillar indicated that the micro-pillar was 3C-SiC single crystal. The residual stress of about 0.3 GPa in the micro-pillar calculated from Raman spectrum indicated that the VLS grown 3C-SiC micro-pillars had good crystalline quality.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 9, 2 March 2009, Pages 2882–2885
Journal: Thin Solid Films - Volume 517, Issue 9, 2 March 2009, Pages 2882–2885
نویسندگان
Y.F. Chen, X.Z. Liu, X.W. Deng, Y.R. Li,