کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
5466472 | 1517993 | 2016 | 20 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Annealing effects on the structural and electrical properties of sputtered tungsten thin films
ترجمه فارسی عنوان
اثرات آنیل بر خواص ساختاری و الکتریکی فیلمهای نازک تنگستن اسپادان
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
پرتقال، تنگستن، فیلم نازک، خاطرات مغناطیسی، اتصالات داخلی، ریز ساختار، مقاومت
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
مهندسی مواد
فناوری نانو (نانو تکنولوژی)
چکیده انگلیسی
We report on the structural and electrical characterization of sputter-deposited tungsten (W) films, having thicknesses between 1.5 and 100 nm, before and after annealing in the temperature range between 200 and 800 °C. In the as-deposited the β-W phase prevails, for all the thicknesses studied. A β-W to α-W transition occurs upon annealing at a temperature that depends on film thickness and it is accompanied by a corresponding resistivity drop. Films with thickness lower or equal to 8 nm are composed predominately of β-W phase after annealing at 300 °C, while the α-W phase prevails after annealing at 450 °C. Films with thickness higher or equal to 10 nm remain at the β-W phase after annealing at 200 °C, but the α-W phase prevails after annealing at 300 °C. The resistivity behavior as a function of film thickness and annealing temperature are discussed. The minimum film resistivity is obtained for the 100 nm thick film after annealing at 800 °C and it is 17.0 μΩ â
cm.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Thin Solid Films - Volume 619, 30 November 2016, Pages 61-67
Journal: Thin Solid Films - Volume 619, 30 November 2016, Pages 61-67
نویسندگان
Andreas Kaidatzis, Vassilios Psycharis, Konstantina Mergia, Dimitrios Niarchos,