کد مقاله | کد نشریه | سال انتشار | مقاله انگلیسی | نسخه تمام متن |
---|---|---|---|---|
9830086 | 1524503 | 2005 | 7 صفحه PDF | دانلود رایگان |
عنوان انگلیسی مقاله ISI
Growth characteristics of InP in bridged mask growth using organo-metallic vapor phase epitaxy
دانلود مقاله + سفارش ترجمه
دانلود مقاله ISI انگلیسی
رایگان برای ایرانیان
کلمات کلیدی
موضوعات مرتبط
مهندسی و علوم پایه
فیزیک و نجوم
فیزیک ماده چگال
پیش نمایش صفحه اول مقاله
چکیده انگلیسی
We propose a novel epitaxial growth method, named as bridged mask growth (BMG), where the epitaxial growth characteristics under the bridged mask is different from that outside the BMG area. The growth rate under the bridged mask can be controlled by changing the bridge width, the opening gap width between neighboring bridges, and the thickness of spacer layer. The transition of growth characteristics between the BMG area and its outside region is confined in a very short distance. We find the relation of bridge pattern dimensions with spacer thickness for good surface morphology.
ناشر
Database: Elsevier - ScienceDirect (ساینس دایرکت)
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 275, Issues 3â4, 1 March 2005, Pages 448-454
Journal: Journal of Crystal Growth - Volume 275, Issues 3â4, 1 March 2005, Pages 448-454
نویسندگان
J.S. Kim, Y.H. Lee, K.J. Chang,